檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "鄭正元".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="微影"
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本論文主要方向為積層製造(Additive Layer Manufacturing)系統結合無光罩微影(Maskless lithography)系統,並嘗試進行大面積影像拼接處理。 積層製造顧名…
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本論文的研究方向是將無光罩微影技術結合積層製造之光成型加工技術,選用下照式成型系統,設計出能製作大面積微結構的曝光機。相較以往的顯微鏡微影系統,本系統單次曝光面積大,能製作出的微結構數量更多,配合高…